电子气体广泛用于半导体、微电子、太阳能和平板显示等高科技产业,主要用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗或用作载气、保护气氛等。电子气体的特点包括:
· 纯度高、品质多。
· 杂质要求控制严格。
· 包装和阀门要求高。
· 文件支持和生产记录要求严格等。
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